Stage niveau Master dans l’équipe SIM2D
Le travail du stage sera expérimental, autour d’un dispositif unique développé à l’ISMO, dédié à l’étude des interactions électrons/films moléculaires. L’irradiation électronique est contrôlée entre 1 eV et 2 keV. Son effet est mesuré par spectrométrie de masse pour suivre la fragmentation et la désorption provoqués par les électrons. Les films moléculaires sont sondés par spectroscopie de désorption thermique (TPD) et par spectroscopie de perte d’énergie vibrationnelle des électrons (HREELS), des techniques expérimentales complémentaires regroupées par la nouvelle plateforme de science des surfaces de l’ISMO (tunnel ultra-vide). Les grandeurs obtenues pourront permettre d’explorer des stratégies d’irradiation dans le dispositif de dépôt assisté sous faisceau de la plateforme FIB-SEM de l’ISMO [3].
[1] I. Utke, P. Hoffmann, et J. Melngailis, « Gas-assisted focused electron beam and ion beam processing and fabrication », J. Vac. Sci. Technol. B Microelectron. Nanometer Struct., vol. 26, no 4, p. 1197, 2008, doi: 10.1116/1.2955728.
[2] L. Sala, I. B. Szymańska, C. Dablemont, A. Lafosse, et L. Amiaud, « Response under low-energy electron irradiation of a thin film of a potential copper precursor for focused electron beam induced deposition (FEBID) », Beilstein J. Nanotechnol., vol. 9, p. 57‑65, janv. 2018, doi: 10.3762/bjnano.9.8.
[3] « SEMFIB – Plateforme de Nanostructuration de l’ISMO Équipement mutualisé de l’Université Paris-Saclay ». Consulté le: 24 mai 2023. [En ligne]. Disponible sur: https://hebergement.universite-paris-saclay.fr/SEMFIB/
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