L’instrumentation a disposition est constitué d’un microscope électronique à balayage de type Zeiss 1540, équipé de la colonne électronique Ultra Haute Résolution Gemini® et d’une colonne ionique filtrée en masse Orsay physics.
Les spécifications sont les suivantes :
Colonne électron Gemini :
- source de type FEG-Schottky
- Tension d’accélération variable de 100 V à 30 kV
- Résolution : 1,1 nm à 20 kV et 2,5 nm à 1 kV
- Courant de sonde : 4 pA à 20 nA
Colonne ions 30keV :
- Orsay physics avec filtre de Wien.
-> sources Au+,Ga+,Si+ - Courant de faisceaux préréglés : 5nA 1nA 500pA 200pA 100pA 50pA 10pA 3pA
Détecteurs disponibles:
- Détecteur de type Everhart Thornley pour la détection des électrons secondaires : SE2
- Détecteur 4 quadrants pour la détection des électrons rétrodiffusés haute tension : AsB
- Détecteur annulaire haute performance pour la détection des électrons secondaires basse tension : In-Lens (dans la colonne)
- Caméra IR-CCD, pour la visualisation de l’intérieur de la chambre.
- Microanalyseur EDS QUANTAX pour l’analyse élémentaire X avec logiciel Esprit, (Hypermap, cartographie X, profils, pointés), HSQuant analyse avec témoins (analyse X quantitative et/ou semi-quantitative) avec correctif de dérive d’images